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中國電子科技集團第55研究所

來源:武漢克萊澳科技 瀏覽量: 961 發(fā)布日期:2019-12-03 09:40:44

2012年8月,克萊澳公司向中國電子科技集團第55研究所使用的,用于芯片制造的分子束外延(MBE)設(shè)備提供液氮注入服務(wù)。分子束外延設(shè)備對真空度以及真空管道保溫效果要求很高,由于要獲得超高真空同時避免蒸發(fā)器中的雜質(zhì)污染需要大量的液氮,因此MBE對液氮加注設(shè)備,尤其是液氮加注設(shè)備的管道質(zhì)量提出了極高的要求??巳R澳公司立足于自研設(shè)備,同時吸收外國設(shè)備的先進技術(shù),為55所的MBE設(shè)備量身定做了一套液氮加注方案,公司工程師與55所教授們經(jīng)過充分的溝通、交流,完成了液氮加注設(shè)備的安裝、調(diào)試工作。經(jīng)實際運行證實:克萊澳公司提供的方案完全契合了55所對芯片生產(chǎn)工藝的要求。克萊澳公司也因此成為了國內(nèi)較早掌握芯片級液氮加注設(shè)備的公司。


南京55半導(dǎo)體生產(chǎn)線.jpg

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